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如何選購(gòu)勻膠機(jī)?

發(fā)布時(shí)間:2024-03-27   點(diǎn)擊次數(shù):1509次

  在選購(gòu)勻膠機(jī)時(shí)需要考慮哪些問(wèn)題?

(1)旋轉(zhuǎn)速度

  轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,會(huì)導(dǎo)致無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。 

(2)真空吸附系統(tǒng)

  真空泵要無(wú)油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,油污可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會(huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況。 

(3)材質(zhì)的選擇

  對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,因?yàn)槌杀镜?,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),,不銹鋼的對(duì)于各類化膠液的抗腐蝕性不理想,塑料對(duì)于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。


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